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Q. 반도체 포토공정 관련 질문
면접준비를 하면서 궁금한게 생겨 포토공정관련되서 몇가지 질문하고자 글을 작성합니다! 1. MOSCAP소자를 제작하는 실습 과정에서 Poly Gate 와 Metal Gate Photo를 진행할때 Poly Gate보다 Metal Gate의 Best CD를 위한 Energy가 더 높았는데 이유가 무엇인가요? 혹시 Metal의 반사율때문인가요? 2. ArF-Immersion공정에서 PR에 물이 스며드는 것을 방지하기위해 Top Coating인 TARC를 증착하는 것으로 알고 있는데 BARC도 같이 증착하나요??
2024.11.13
답변 2
- rreinheart우양포토닉스코부장 ∙ 채택률 57%
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- 졸졸린왈루(주)KEC코사장 ∙ 채택률 98%
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